সম্প্রতি, SEMICON তাইওয়ান 2026 IC ফোরামে, গ্লোবাল লিথোগ্রাফি জায়ান্ট ASML তার হাই-NA EUV (হাই নিউমেরিক্যাল অ্যাপারচার এক্সট্রিম আল্ট্রাভায়োলেট) লিথোগ্রাফি মেশিনগুলির সর্বশেষ কোর ডেটা এবং প্রযুক্তিগত অগ্রগতি সম্পর্কে বিশদ প্রকাশ প্রদান করেছে কারণ তারা ম্যানুয়ালিউফের উচ্চতার দিকে এগিয়ে যাচ্ছে।
উৎপাদন স্কেল এবং সরঞ্জাম সরবরাহের বিষয়ে, ASML ঘোষণা করেছে যে বিশ্বব্যাপী চারজন গ্রাহক ইনস্টলেশন সম্পন্ন করেছেন, মোট 10টি উচ্চ-NA EUV সিস্টেম এখন সম্পূর্ণরূপে চালু আছে। একটি অতিরিক্ত তিনটি সিস্টেম বর্তমানে শিপিং এবং ইনস্টলেশন পর্যায়ে রয়েছে। আজ অবধি, এই মেশিনগুলি 1.35 মিলিয়নেরও বেশি ওয়েফারের উন্মোচন করেছে, যা প্রযুক্তির পরীক্ষামূলক বৈধতা থেকে সম্পূর্ণ-স্কেল শিল্প অ্যাপ্লিকেশনে রূপান্তরকে চিহ্নিত করে৷ উল্লেখযোগ্যভাবে, ইন্টেল তার ইন্টেল 18A প্রসেস নোডে নির্দিষ্ট কিছু কোর আল্ট্রা সিরিজ 3 প্রসেসর (কোডনাম প্যান্থার লেক) তৈরি করতে এই প্রযুক্তি ব্যবহার করে নেতৃত্ব দিয়েছে, উচ্চ-উইএনএ ইইউ ব্যবহার করে লজিক চিপগুলির উচ্চ ভলিউম শিপমেন্ট অর্জনকারী বিশ্বব্যাপী প্রথম কোম্পানি হয়ে উঠেছে।
সরঞ্জামের কার্যক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতার ক্ষেত্রে, প্রথম-প্রজন্মের ভর-উৎপাদন মডেল, EXE:5200B, HVM মানগুলি পূরণ করে, গ্রহণযোগ্যতা পরীক্ষার সময় 135টি ওয়েফার প্রতি ঘন্টা (WPH) থ্রুপুট অর্জন করেছে। ইতিমধ্যে, বৈশ্বিক নৌবহরের প্রাপ্যতার হার 84% বেড়েছে। ASML প্রজেক্ট করে যে এই হার 2026 সালের শেষ নাগাদ 90%-এ পৌঁছাবে, যার দীর্ঘ-লক্ষ্য 93%। তার বিদ্যমান NXE প্ল্যাটফর্ম থেকে রক্ষণাবেক্ষণের অভিজ্ঞতা লাভ করে, ASML নিশ্চিত করেছে যে মেশিনগুলির ওভারলে এবং ফোকাস কর্মক্ষমতা কঠোর ভর{12}}উৎপাদনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে৷
পূর্ববর্তী 0.33 NA EUV সিস্টেমের তুলনায় প্রযুক্তিগত সুবিধা এবং ভবিষ্যতের রোডম্যাপ সম্পর্কিত, 0.55 NA হাই-NA EUV উচ্চতর রেজোলিউশন অফার করে। এটি জটিল মাল্টি-প্যাটার্নিং প্রতিস্থাপন করতে একক-প্যাটার্নিং সক্ষম করে, সরাসরি ত্রুটির হার, উৎপাদন চক্রের সময়, এবং উন্নত নোডের জন্য সামগ্রিক খরচ কমায়৷ তদ্ব্যতীত, এই প্রযুক্তিটি 2D চিপ লেআউটগুলির জন্য নতুন ডিজাইনের স্থানগুলি খুলে দেয়, সম্ভাব্যভাবে মেটাল আন্তঃসংযোগ স্তরগুলির মোট সংখ্যা হ্রাস করে৷ সামনের দিকে তাকিয়ে, ASML এক দশক ধরে বিস্তৃত একটি স্থিতিশীল প্রযুক্তি রোডম্যাপ প্রতিষ্ঠা করেছে। EUV আলোর উৎস শক্তি বৃদ্ধি করে (600W থেকে 1000W পর্যন্ত) এবং অন্যান্য যান্ত্রিক প্রক্রিয়াগুলিকে অপ্টিমাইজ করে, কোম্পানির লক্ষ্য হল এই দশকের শেষ নাগাদ যন্ত্রপাতি থ্রুপুটকে 180 WPH-এ উন্নীত করা, 2nm নোড থেকে Angstrom-এ অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের জন্য মূল সমর্থন প্রদান অব্যাহত রাখা।
