আমরা সবাই জানি, পৃথিবীতে শুধুমাত্র একটি প্রস্তুতকারক আছে, EUV লিথোগ্রাফি তৈরি করতে পারে, এটি নেদারল্যান্ডস এএসএমএল।
এবং কেন বিশ্বের একমাত্র কারণ, এই কারণ হল ASML অনেকগুলি মূল নির্মাতারা একত্রিত হবে, যেমন জার্মান অপটিক্স কোম্পানি Zeiss (Zeiss), এবং তারপর মার্কিন যুক্তরাষ্ট্র Cymer, এবং তারপর জার্মান টম ফাস্ট গ্রুপ (TRUMPF) ) এবং তাই।
ASML এই নির্মাতাদের বিনিয়োগ, অধিগ্রহণ, শেয়ারহোল্ডিং, গবেষণা কেন্দ্র প্রতিষ্ঠা ইত্যাদির মাধ্যমে তার রথের সাথে বেঁধেছে এবং এই নির্মাতারা, সম্ভবত বিশ্বের একমাত্র নির্মাতা যারা এই পণ্যগুলি উত্পাদন করতে পারে, তাই শেষ পর্যন্ত শুধুমাত্র ASML EUV লিথোগ্রাফি তৈরি করতে সক্ষম হয়। এ পৃথিবীতে.
যাইহোক, সম্প্রতি, ASML-এর একটি কী সাপ্লাই চেইন, একটি কারখানা তৈরির জন্য চীনের শেনজেনে ছুটে গেছে, এর সেনজেন সহায়ক সংস্থা বাওন চীন-জার্মান (ইউরোপ) শিল্প প্রদর্শন পার্কে বসতি স্থাপন করেছে।
এই প্রস্তুতকারক জার্মানির টম ফাস্ট গ্রুপ (TRUMPF), এটি ASML এর EUV লিথোগ্রাফি, বিশ্বের একমাত্র লেজার উত্স সরবরাহকারী৷
EUV লিথোগ্রাফিতে TRUMPF পণ্য, কতটা গুরুত্বপূর্ণ? প্রথমে, আমাকে EUV লিথোগ্রাফির নীতি ব্যাখ্যা করা যাক, আপনি বুঝতে পারবেন।
EUV লিথোগ্রাফির নীতি, সহজভাবে বলতে গেলে, তিনটি প্রধান সিস্টেমকে কেন্দ্র করে, EUV UV আলোর উৎস সিস্টেম, অবজেক্টিভ লেন্স সিস্টেম এবং টেবিল সিস্টেম।
সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া হল লেজার ব্যবহার করে 13.5 এনএম তরঙ্গদৈর্ঘ্যের চরম অতিবেগুনী রশ্মিকে উত্তেজিত করা, এবং তারপরে সংশোধন করার পরে একটি নিয়ন্ত্রিত আলোর রশ্মি তৈরি করা, এবং তারপরে আলোর এই রশ্মিটি ফটোমাস্ক টেবিলের উপর প্রক্ষিপ্ত করা হয়, এবং তারপর উদ্দেশ্যের মাধ্যমে প্রক্ষিপ্ত করা হয়। এক্সপোজার টেবিলের আয়না, এবং অবশেষে ফটোরেসিস্ট দিয়ে প্রলিপ্ত সিলিকন ওয়েফারের সার্কিটটি বের করে।
কিভাবে EUV UV আলোর উত্স সিস্টেমগুলির মধ্যে একটি পাওয়া যায় তা হল একটি 30 kW ক্ষমতার CO2 লেজার দিয়ে একটি টিন (Sn) ধাতব ফোঁটা বোমাবর্ষণ করে, এটিকে একটি প্লাজমাতে বাষ্পীভূত করে এবং অবশেষে 13.5 এনএম তরঙ্গদৈর্ঘ্যের EUV আলো প্রাপ্ত হয়৷
এই 30 কিলোওয়াট CO2 লেজারটি TRUMPF দ্বারা সরবরাহ করা হয়েছে, এটি বিশ্বের একমাত্র এই ধরণের।
এই CO2 লেজারটিকে অবমূল্যায়ন করবেন না, এটির 457,329 অংশ রয়েছে, সিস্টেমে তারের দৈর্ঘ্য 7,322 মিটার পর্যন্ত, এবং ওজন 17,090 কেজি, যা EUV লিথোগ্রাফির সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ মূল উপাদানগুলির মধ্যে একটি।
এখন TRUMPF একটি কারখানা তৈরি করতে চীনে ছুটে গেছে, উদ্দেশ্য স্পষ্ট, যেটি চীনা লেজারের বাজার সম্পর্কে আশাবাদী, এবং এমনকি আরও দীর্ঘমেয়াদী দৃষ্টিভঙ্গি, চীনা লিথোগ্রাফি বাজার সম্পর্কে আশাবাদী, ভবিষ্যতে EUV লিথোগ্রাফি নির্মাণে চীনের সাথে সহযোগিতা করতে পারে .
প্রকৃতপক্ষে, একটি কারখানা তৈরির জন্য ইতিমধ্যেই একাধিক ASML সাপ্লাই চেইন চীনে চলছে, এর আগে সেখানে কেএমডব্লিউই এবং অন্যান্য নির্মাতারা রয়েছে, এছাড়াও একটি কারখানা তৈরি করতে চীনে।
বর্তমান প্রবণতা অনুযায়ী, আমরা আশাবাদীভাবে আশা করতে পারি যে এটি চীনের লিথোগ্রাফি প্রযুক্তির একটি বড় পদক্ষেপের আগে হতে পারে না, এবং এমনকি আউটপুট EUV লিথোগ্রাফির ভলিউমও অপেক্ষা করতে পারে, আপনি কি মনে করেন?
